ISO 14644 核心標準與應用
ISO 14644 是一系列針對潔淨室空氣潔淨度分類、測試與監測的國際標準。
ISO 14644-1
空氣潔淨度等級分類，定義微粒濃度限值 (Class 1 到 Class 9)。
ISO 14644-2
監測要求，確立潔淨室性能的連續監測計畫和數據分析。
ISO 14644-3
測試方法，規定各種性能測試的標準操作程序。
ISO 14644-4
設計與建造，涵蓋潔淨室規劃、設計、施工和啟用的要求。
ISO 14644-1 潔淨度等級微粒濃度標準 (顆/m³)
下表顯示了在各種 ISO 潔淨度等級下，每立方米空氣中允許的最大微粒濃度（粒徑以微米 μm 計）。
| ISO 等級 | ≥ 0.1 | ≥ 0.2 | ≥ 0.3 | ≥ 0.5 (關鍵粒徑) | ≥ 1.0 | ≥ 5.0 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 10 | 2 | – | – | – | – |
| 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | – | – |
| 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | – |
| 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | – |
| 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
| 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
| 7 | – | – | – | 352,000 | 83,200 | 2,930 |
| 8 | – | – | – | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 |
| 9 | – | – | – | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
註：ISO 14644-1 標準要求 ≥ 0.5 μm 為所有等級的必測粒徑。表格中的 ‘-‘ 表示該等級不需要根據該粒徑進行分類。
ISO 14644 潔淨室三種性能狀態
潔淨度分類測試需在三種國際認可的操作狀態下進行，以評估其性能。
剛完工狀態 (As-Built)
定義：設施已完成建造，所有服務功能已連接，但無設備或人員。
- 狀態意義：證明潔淨室的基本設計和施工符合標準。
- 微粒標準：通常只有在設計要求下才會進行此狀態的潔淨度分類。
- 關鍵測試：靜態壓差、洩漏測試、氣流速度。
ISO 14644-3 關鍵性能測試項目
此標準規定了用於證明潔淨室符合等級要求的測量和測試方法。
懸浮微粒濃度測試 (Classification)
目的：根據 ISO 14644-1 標準，確定潔淨室的微粒分級。
方法：使用離散式微粒計數器，計算規定粒徑 (如 0.1 μm, 0.5 μm) 的微粒數量。
氣流速度與均勻性測試
目的：驗證層流 (Unidirectional) 區的風速是否在規範範圍內，確保污染物有效移除。
方法：使用熱線式風速計或葉輪式風速計，測量HEPA出風口或工作區的風速。
房間壓差測試
目的：維持區域間的壓力級差，確保氣流從潔淨區流向非潔淨區。
方法：使用微壓力計，監測潔淨室與相鄰區域之間的最小和最大壓力差異。
ISO 14644-4 設計原則與 ISO 14644-3 測試細節
從設計階段到關鍵測試，都需要遵循嚴格的標準。此區塊左右兩欄等寬。
ISO 14644-4：設計與建造要素
設計階段應考慮的關鍵因素：
- 目標等級：明確定義所需的 ISO 潔淨度等級與操作狀態。
- 建築佈局：利用結構和建築材料來減少微粒積聚和釋放。
- 公用系統：確保 HVAC、水、氣體等系統符合潔淨室要求，並易於維護。
- 設備選型：選用不會對潔淨度造成不利影響的設備，並規劃正確的進出路徑。
關鍵測試：洩漏、回復與氣流可視化
ISO 14644-3 中的進階測試：
- 洩漏測試：確認 HEPA/ULPA 濾網和安裝框架的完整性 (使用氣溶膠光度計)。
- 氣流方向和可視化：使用煙霧測試等方法，證明氣流模式符合設計要求，尤其在設備周圍。
- 恢復測試：測試潔淨室在一次瞬時污染後，恢復到所需潔淨等級所需的時間。
- 換氣率：針對非層流 (Non-Unidirectional) 區域，確保空氣稀釋能力足夠。